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スパッタリング率・粒子反射率・打ち込み深さ計算コード:EDDYホームページを開く |
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スパッタリング率・粒子反射率計算コード:ACATホームページを開く |
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壁リサイクリング率計算コード:DIFFUSEホームページを開く |
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新規追加・複合計算コード:EDDY+DIFFUSEホームページを開く |
最新情報::EDDY+DIFFUSEは、EDDYで計算されたイオンの打ち込み深さプロファイルを自動的にDIFFUSEの入力データにする複合コードです。
うまく計算が実行できない場合のよくある原因:
2)Internet ExplorerとExcelの固有の問題
Copyright (C) 2001 by 核融合科学研究所,管理責任者:連携研究推進センター・学術連携研究室 教授 廣岡慶彦 hirooka.yoshihiko@nifs.ac.jp